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真空加熱系統
一些對空氣敏感、熱穩定性較差的材料需要在真空、純淨的箱體環境中進行幹燥處理,用于去除器件内部基闆表面的水或溶劑,或在特定溫度條件下對敏感材料進行幹燥/固化,真空加熱系統是實現這些功能的最爲經濟有效的一款産品,最高溫度可達到180°C。
氣體純化系統
在對高精密光通信、激光器、傳感器器件進行同軸封裝或蝶形封裝時,不僅需要密閉的惰性氣體環境,同時還需要保持箱體内的水氧含量小于5PPM,爲了維持水氧含量穩定保持在規定的數值區間,就需要加裝氣體純化系統,該系統能将手套箱内的氣體不間斷地循環,然後經過氣體淨化設備把手套箱體内的水氧和有機溶劑雜質除去。
特氣注入系統