特氣注入系統

特氣注入系統

  • 系統組成

  • 特氣注入系統主要是在精密高性能電子元器件封焊的無水無氧的惰性氣體保護環境手套箱内，将特殊氣體注入到器件中的一整套附屬設備系統。該系統可确保高純度特氣注入到元器件内部達到提高器件穩定可靠性的作用。可根據客戶需求提供标準和定制産品。

    （特氣，全稱特種氣體，是指在大氣壓下不能自然存在的氣體，通常是指純度較高、制備和使用工藝較爲複雜的氣體。根據其化學成分和物理特性不同，特氣可分爲多種類型。）

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